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特色工艺
我们十吩祺沉您的幼我隐衷,当您
SIC
碳化硅器件(Silicon Carbide)
碳化硅资料拥有高导热的资料个性,可在高温环境下正常运作。碳化硅功率器件拥有耐高压、高频操作的优势。碳化硅器件可改善系统效能、靠得住性,提升系统功率密度,幼型化电力电子系统。在高靠得住性要求的工业利用、高效电力系统、伺服电源及电力汽车等领域,碳化硅资料比其他新兴资料更具显著优势并被宽泛利用。
PE
Inverter
Motor Contorl
Smart Power Grid
Ship &
Vessels
Windmills
UPS
xEV
碳化硅器件特点
碳化硅肖特基二极管拥有高耐压、高导热资料个性,拥有优异的反向复原能力,可改善功率损失,提升系统的效能。
碳化硅MOSFET拥有高速开关、低导通电阻等个性,在电力电子高频利用中,能够削减导通切换的功率损失,提升整体系统效能
SiC 平台工艺能力
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高温离子注入
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金属沉积
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高温退火
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激光退火
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深沟槽SiC刻蚀
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SiC栅氧
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SiC晶圆减薄
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自对准短沟路工艺
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高沟路迁徙率工艺
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零缺点筛选工艺
Roadmap